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   星弧涂层可根据不同的用途提供独特的阳极层离子束源。离子束源有圆形和矩形两种形式。星弧的直流电源确保这些离子束在真空镀膜时有最好的整体表现。
技术优势  
..
.. 平行离子束
.. 易于安装的法兰形式
.. 增强的离子束中和能力
.. 能量可到2000 eV
.. 高效的直流电源

应用领域

  

....
.. 离子束清洗和刻蚀
.. 离子束溅射
.. 离子束辅助沉积

技术参数
形式
型号
尺寸 (mm)
离子束的均匀性
放电电压 (V)
放电电流 (A)
工作真空度
电源
圆形
120
ф120x110
±5%
最高到 3000
最高到 1
10-1to 10-4
托
EQ2R600
200
ф200x110
±5%
最高到 3000
最高到 1
EQ2R600
矩形
400
80x110x400
±5%
最高到 3000
最高到 4
EQ2R600
600
80x110x600
±5%
最高到 3000
最高到 6
KL3R1000
900
80x110x900
±5%
最高到 3000
最高到 10
KL3R1000

 
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