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星弧涂层给超薄膜和硬涂层提供过滤阴极弧源(FCA)和直接阴极弧源(DCA)，整套真空镀膜系统可安装多个圆柱形和圆形设计的阴极弧源。
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| 技术优势 |
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靶材接近100%的离化率 |
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过滤阴极弧配置无有害颗粒 |
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阴极弧配置使用高效率的直接水冷，消除有害颗粒 |
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高达40%的靶材使用率 |
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法兰连接使得安装和维修更便捷 |
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应用领域 |
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适用于高精密模具和耐磨擦自润滑零部件的DLC和ta-C涂层 |
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适用于切削工具，模具和冲压件的TiAlN,
CrN, AlCrN涂层 |
圆柱形靶材损耗图 |
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技术参数 |
| 形式 |
型号 |
靶材尺寸(mm) |
膜层均匀性 |
电弧电流
(A) |
工作真空度 |
电源 |
直接阴极弧源 |
圆形 |
60 |
ф60x30 |
~ |
最大
100 |
10-1to
10-6
托
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ADC120 |
100 |
ф100x15 |
~ |
最大
120 |
ADC120 |
矩形 |
360 |
ф80x360 |
±10% |
最大
160 |
ADC200 |
710 |
ф710x360 |
±10% |
最大
180 |
ADC200 |
过滤阴极弧源 |
60F |
ф60x30 |
±5% |
最大
120 |
配置控制台 |
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 ［
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