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星弧涂层所提供的磁控溅射溅射阴极具有平衡或非平衡的磁场设计，靶材的离化率和利用率优异，多跑道的设计可用于大批量工业生产，同时使得设备运营成本降低20%以上。
磁控溅射阴极是标准系列产品，星弧也可根据客户的具体需求而客制化设计和制造。

技术特点：

● 阴极采用紧凑的矩形平面设计，磁场可沿单轴或双轴运动

● 在单个圆柱形靶材上最多有三条等离子轨道

● 高达50%的靶材利用率

● 配备星弧电源：DC，RF和中频AC

● 法兰连接使得安装和维修更便捷

典型应用：

● 切削工具，模具具的硬质涂层

● 玻璃，磁盘连续涂层

● 研发用薄膜沉积