首页 >涂层设备 > 增强磁控阴极弧源
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增强型磁控阴极弧源采用多项专利技术,具有离化能力强,靶材利用率高,安装形式和规格多样等特点,配备相应的电源可实现多品种和形式的金属陶瓷涂层生产。
增强型阴极电弧源是标准系列产品,星弧也可根据客户的具体需求而客制化设计和制造相应的产品。
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技术特点:
● 靶材接近的离化率
● 高达40%(或90%)的靶材使用率
● 阴极弧配置高效率的直接水冷,消除有害颗粒
● 有效的硬质涂层工艺离子源
● 法兰连接使得安装和维修更便捷
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典型应用:
● 切削刀具,模具
● 制备TiAlN, TiN,CrN等复合涂层
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